1. Ts'ebetso ea ho Sebelisa Doping ea Laser ea SE
Morero:Ts'ebetso ea ho sebelisa laser doping ea Selective Emitter (SE) e ntlafatsa lera la emitter sele ea TOPCon ea mofuta oa N ho fokotsa khanyetso ea ho kopana le ho ntlafatsa katleho ea phetoho.
Mokhoa:Matla a laser a qhibilihisa bokaholimo ba silicon, a nolofalletsa liathomo tsa boron (B) tse khalaseng ea borosilicate ho hasana ka potlako ka har'a silicon, e leng se etsang hore ho be le lera le nang le doped e ngata. Doped e ngata libakeng tsa ho kopana e fokotsa khanyetso ea ho kopana, ha doped e bobebe libakeng tse ling e fokotsa tahlehelo ea ho kopanya hape, qetellong e ntlafatsa bokhoni ka 0.2%-0.4%.
2. Sebopeho sa Tunnel Oxide le Polycrystalline Silicon Layers
Morero:Mealo ena e ka morao ho wafer ea silicon e etsa sebopeho sa ho kopana se sa sebetseng, e leng sa bohlokoa bakeng sa ho fokotsa ho kopana hape le ho ntlafatsa bokgoni.
Mokhoa:Mokhoa oa Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition (PECVD) o khethiloeng ke indasteri o beha filimi ea silicon oxide ea 1-2nm le lera la silicon le sa fetoheng la 100-150nm, le etsang hore e be kristale nakong ea ho annealing ho etsa lera la polycrystalline. PECVD e fana ka lebelo le phahameng la ho beha, tšilafalo e fokotsehileng, le litšenyehelo tse tlase, e leng se etsang hore e be khetho e sebetsang bakeng sa tlhahiso ea bongata.
3. Sekoahelo se Thibelang ho Bonahatsa (ARC)
Morero:Sebopeho sa dielectric sa mekhahlelo e mengata (SiOx/SiONx/SiNx) se fokotsa tahlehelo ea mahlo le ho ntlafatsa ho monngoa ha leseli, se eketsa photocurrent le katleho.
Melemo e Eketsehileng:ARC e fana ka phetiso ya bokaholimo ka ho fokotsa sekgahla sa ho kopanya bokaholimo, ho atolosa nako ya bophelo ba sele, le ho sireletsa dikarolo tse neng di beilwe pele (jwalo ka alumina ka pele) tshenyong le tshilafatsong.
4. Ho thunya ho susumetsoang ke laser (LIF)
Morero:LIF e sebediswa ho hatisa ka mora skrine ho ntlafatsa kgokagano pakeng tsa peista ya tshepe le silicon. Tshebetso ena e ntlafatsa kgokagano ya ohmic mme e fokotsa khanyetso ya kgokagano, e ntlafatsa tlhahiso ya motlakase.
Tšusumetso:LIF e bontšitsoe e eketsa bokgoni ba phetoho ka 0.2% kapa ho feta, e leng se etsang hore e be tlatsetso ea bohlokoa tlhahisong ea TOPCon.
Mehato ena ea mantlha ea ts'ebetso e totobatsa mekhoa e tsoetseng pele ea tlhahiso theknolojing ea TOPCon, e lumellang katleho e phahameng le botsitso bo ntlafetseng ts'ebetsong ea lisele tsa letsatsi.
